EL测试仪是通过对电池片通入1-40mA的正向电流，作用于扩散结两边,电能把处于基态的原子进行激发，使其处于激发态，处于激发态的原子不稳定，进行自发辐射。通过滤波片的作用及底片的曝光程度来了解在自发辐射中本征跃迁的情况，通过少子寿命、密度与光强间的关系，从底片的曝光程度，来判断硅片中是否存在缺陷。